我国微电子产业关键材料将实现国产化 微电子加工用高端超纯化学品研发项目启动

宜兴9月24日电（过国忠 姜树明 王欢）国家重点研发计划项目“微电子加工用高端超纯化学品”项目内部启动暨新闻发布会，9月24日在江苏博砚电子科技有限公司举行。来自项目承担单位的30多位专家与企业负责人，按照科技部对项目实施要求，集中讨论了项目实施的具体工作方案，提出了新要求，拿出了“时间表”。

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江苏博砚电子科技有限公司总经理宗健介绍，全球正在进入以电子信息产业为主导、以信息经济为主要形态的经济发展新时期。特别是随着以有机发光、量子点、OLED为代表的新型显示材料及制造工艺的不断创新，未来几年，显示产业的技术、市场、产品和竞争格局都将发生深刻的变化。而彩色光阻材料，是LCD制造中的关键材料。尽管国际上彩色光阻材料需求量越来越大，但由其开发难度高，40多年来，我国所用的彩色光阻材料一直依赖进口。

业内专家认为，主要在于我国在原材料基础研究与生产工艺技术上落后一步。而日本、韩国和台湾则走在了最前列。近年来，虽说日本、韩国和台湾己经将大部分STN的生产线和部分TFT生产线向中国大陆转移，已经陆续投产几条较为先进的TFT生产线。但生产工艺、技术和部分原材料的专利仍掌握在日本或其它少数国家手中。

北京化工大学理学院院长聂俊透露，此次启动实施的该国家重点研发计划项目，也就是从国家战略层面出发，针对我国微电子加工用高端超纯化学品被国外公司所垄断、微电子产业大部分利润外流并存在生产稳定性差的现状，由北京化工大学作为项目承担单位，并牵头组织中国科学院理化技术研究所、中山大学、常州强力电子新材料股份有限公司、江苏博砚电子科技有限公司、江西石华精细化工科技协同创新有限公司、上海仪电显示材料有限公司等8家，共同实施从基础理论研究到材料研发，最终形成拥有自主知识产权的核心技术产品，全面实现微电子产业关键材料国产化应用。

据了解，该项目任务期为四年，将通过协同创新，重点研究开发高纯度的光引发剂、高纯度的弱碱显影树脂、高纯度三甲基铝、高稳定性纳米碳浆和颜料浆，并以此为基础开发出适用于高世代LCD生产的光阻材料,形成的新产品、新原理、新技术、专利、标准等成果，将在不少于11项示范生产线上实施，开发的光阻材料在总体性能上达到或超过国外同类产品水平，实现对进口产品的替代。

在常州强力电子新材料股份有限公司总经理李军看来，可以说，此重点项目技术开发难度大、时间紧、任务重。任务期内，既要解决纯化方法和设备对各种杂质的去除机理、光引发剂的化学结构对其光谱特性和引发效率作用规律、树脂结构和分子尺寸及形状对显影性能和分辨率的影响机制、碳浆和颜料浆的改性结构、表现形貌和制备工艺对其稳定性及光学特性的理论关联等科学问题的基础上，突破微电子加工用高端化学品的超纯化处理、高感度和高分辨率感光体系的构建、纳米碳浆和颜料浆稳定制备等关键技术。”聂俊说。

本项目完成并形成规模量产后，将大幅度降低行业内原材料消耗成本，推动平板显示行业的结构调整与产业升级，降低我国微电子产业市场风险，促进我国相关行业理论、技术和科技创新能力整体提升，彻底打破国外企业几十年来的市场垄断，将产生巨大的社会和经济效益。但是，此重点项目实施，并不是一个单一产业环节上的创新，是整个产业链的集成创新。为此，项目组专家呼吁，希望各级地方政府相关部门要为国家重大项目顺利实施，进一步营造良好的生态科研与示范应用环境，齐心协力助推我国微电子产业的新发展。